第106章 106，试生产（1 / 2）

生产前要先将麒麟9000的几十层电路图的掩膜做出来，用于光刻机的电路刻录，然后在针对其芯片定制封装件，测试程序由菊花提供，之前麒麟9000是有生产的，测试软件都是现成的。

很快所有准备工作都完成了，第一次试生产测试日期也定了下来。

这次测试是内部测试，暂不对外公开，主要参加人员有随便科技的研发工程师和菊花的工程师团队，就连菊花手机部负责人余总也到场参观测试了。

张伟对这人类最尖端科技的光刻机也非常感兴趣，所以也参观了试生产测试。

实验车间设计时就考虑到了参观的用途，四周都是钢化玻璃，外面一圈走廊可以全方位观看整个芯片生产过程。

早上九点人员全部到齐后，张伟跟余总互相认识客套一番后，九点半试生产正式开始。

硅片由特殊的容器和自动传送车运往专门的入口，车间内的机械臂将这一批硅片抓取到特定的地点又进行了一次除尘程序。

除尘结束后机械臂将硅片抓取放到涂抹光刻胶的机器上，硅片旋转，光刻胶从中间位置落下，在惯性下被均匀的涂抹在硅片上。

别小看这一步，这里的技术含量也是非常高的，旋转速度和胶的量都需要非常精确的操作，转速快一点，胶多一点都可能对成品良率产生影响。

涂抹好光刻胶的硅片被机械臂抓取放在了光刻机上进行电路刻印，网上看到爱斯麦尔的光刻机在工作时有紫光在弯折管道中闪烁的宣传视频实际上是特效，只是便于普通人理解，光刻机的光源频段实际上人眼是看不到的。

从外表只能看到固定硅片的底座在一个从粗到细，左右弯折类似管道的装置下面，从左到右，从上到下均匀的移动。

光刻机全身上下都是高科技，制造起来相当困难，其中最难的在于短波激光的生成和收集，用两万多瓦的二氧化碳激光连续2次轰击在一颗尺寸仅为30微米的液态金属锡液滴，让它们蒸发转换成等离子体，这样就会释放出13.5纳米的极紫外光EUV，一颗液态金属锡产生的光持续的时间很短，所以需要以1秒钟轰击5万个液态金属锡才能达到使用标准。

其困难程度相当于从地球发出的手电筒光线要精确地射在月球上的一块硬币一样难，这种激光技术全世界就2个国家掌握，龙国便是其中之一，激光组件直接可以在国内购买到，也省下了很多研发和制造的时间。

以上就是短波激光的生成，接下来就是怎么收集。

想要收集这种特殊的光源，以往的传统透射镜头是做不到的，因为EUV光很容易被吸收掉，就连空气也可以吸收它。

一种表面涂有硅和钼组成的多层膜，两种材料交替沉积，每层厚度仅为几纳米，共40多层的特殊镜片能够很好的反射EUV光源，但每一次反射还是会损失百分之30的光强，一堆反光镜下来最终只剩下百分之2的光强了，所以就需要很高功率的激光才行。

有人说为什么要反射那么多次直接照射不行吗？

首先是为了检查光源，其中有几次反射就是为了中途采样检测，剩下的就是调整形状，过滤杂光等等，因为这种镜片几乎只反射13.5纳米的光，刚被轰击的液态金属锡，除了极紫外光以外还有其他频段的光，经过多次反射过后的光更纯粹。