第277章 光刻机测试（上）（2 / 2）

吴志航满意的点点头，围着光刻机转了一圈，这台设备为全封闭结构，就像一个四四方方的铁皮文件柜，外壳喷涂成了乳白色，左右两侧，设置有硅晶圆入口和出口，靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道：“只看外表，和佳能、尼康的光刻机似乎都不太一样，这是对外壳进行了优化吗？”

吴光辉摇摇头，说道：“不止优化了外壳，也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗，梁教授他们研发一微米光刻机的时候，参考了0.5微米光刻机的内部结构，对设计图进行了一些更改优化。理论上来说，这些优化对晶圆的加工速度和加工精度，都有所提升，实际情况如何，还需要测试过后才知道。”

梁安平等人又忙活了半个多小时，光刻机终于调试完成，将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。杨威力通过对讲机沟通，让一位名为白巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆，梁安平亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。

见状，吴志航出声询问道：“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line，还是248nm的KrF（氟化氪）准分子激光作为光源？”

吴光辉答道：“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发部已经立项开始研发，但这种技术在世界范围内，也是最前沿研发项目，开发难度非常高，不是短期内能攻克的。”

这台光刻机的加工速度还是很快的，即使是初次测试，白巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内，全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上，多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版，是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版，其复杂程度和尺寸大小，是晶圆工厂出产的所有芯片之最。按照原本的计划，第一次光刻测试，应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标，这样一来，就可以从易到难，逐步查漏补缺，将光刻机修改完善。但梁安平和几个主要研发人员，对光刻机测试样机非常有信心，直接上了最大难度，也是需求量最大的ARM1芯片。

北极星公司推出的第二代游戏掌机上市之后，立刻受到电玩爱好者的热捧，仅仅上市半个多月，就售出了300万台。随机配送的《超级玛丽》和《功夫小子》两款游戏，在画面、音效、游戏可玩性上，碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销，作为主控芯片的ARM1需求量大增，可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间，提升速度非常缓慢。经过孟小刚、梁安平，几个相关领域的专家研究分析，认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。